磁控濺鍍是用於將薄、高品質、粘附良好的薄膜鋪設到表面的幾種電漿氣相沉積 (PVD) 技術之一。磁控濺鍍最常用於製造工業塗層,如具有耐腐蝕性或抗反射性的塗層,或在微電子中產生金屬層。通過使用大功率磁鐵捕獲靠近目標表面的電子,磁控濺鍍是一種高效率的過程,可以提供比其他 PVD 技術更高的沉積率。
雖然磁控濺鍍在 20 世紀 70 年代首次被描述,但許多公司仍在研究理想的條件,以實現最大的工藝效率。為了進行這一重要的商業研究,LG 顯示器有限公司的工程師們尋找軟體,用於模擬玻璃顯示板製造中使用的大規模電漿濺射侵蝕過程。通過使用模擬軟體,LG 團隊希望確定理想的條件和設計規格,以便以最小的風險、成本和測試提高效率。

使用 VSim,LG 研究人員開始模擬他們特定的磁控濺鍍過程。 他們測量了設備中濺射目標的吸收電流模式,據信這與目標侵蝕模式相關。 然後,他們使用 VSim 進行相同的測量,並看到與濺鍍模式非常匹配的結果。 由於 VSim 是一種可有效擴展以應對具有挑戰性問題的平行計算產品,他們能夠將模擬進行到離子交叉時間尺度。 在觀察到 VSim 忠實地再現了其測量的濺鍍模式後,他們將 VSim 整合到其設計流程中,以改進其未來的產品。